随着半导体制造进入高精度、高集成度时代,超纯水的水质纯度与水资源利用效率成为影响芯片良率、控制生产成本的关键因素。作为聚焦于芯片制造等电子核心产业的超纯水系统供应商,高频科技凭借二十余年技术积淀,致力于为半导体高端制造等行业客户,提供领先的超纯水与循环使用解决方案及装备,助力客户在提升良率的同时实现降本增效。
超纯水:芯片良率提升的“隐形工艺伙伴”
在半导体行业,良率是关乎企业成本、可靠性与市场竞争力的核心指标,而超纯水正是影响良率的关键要素之一。芯片生产过程中的清洗、蚀刻、抛光等环节都依赖超纯水,水中任何微量污染物都可能导致晶圆缺陷,进而影响芯片性能与成品率。
因此,半导体行业对超纯水的水质要求极为严格,主要指标包括:电阻率≥18.24MΩ·cm(25℃)、总有机碳<0.5μg/L、溶解氧<1μg/L、微粒(>0.05μm)<100个/L,以及细菌<1/100mL、总硅含量<0.5μg/L,溶解硅含量<0.3μg/L升,硼含量<0.005μg/L等。
高频科技通过整合物理、化学、流体等多学科工艺,并依托多介质过滤、活性炭吸附、离子交换、反渗透膜、紫外线杀菌、紫外线TOC去除、电渗析、超滤、纳滤、真空脱气塔、膜脱气等超纯工艺技术,系统去除各类污染物,制备出纯度达ppt级别、离子含量仅为万亿分之一的超纯水,以稳定可靠的高标准水质,持续支持客户提升芯片良率与制造竞争力。
高效回用技术:解锁成本控制“新密码”
半导体制造属于高耗水行业,水资源成本与废水处理压力是企业持续面临的运营挑战。高频科技通过电子级废水处理与回用技术,为企业降本增效提供系统性解决方案。
高频科技针对不同杂质特性的废水,定制高效经济的处理工艺,并结合前瞻性的水系统规划能力,对晶圆制造中产生的30余道废水——如纯水浓水、低浓度氢氟酸废水、研磨废水、酸碱废水等进行精细化分流与回用,最终实现整厂用水的制备回收率高达90%,在显著降低水耗与排放成本的同时,助力企业实现环保与经济效益的同步提升。
高效供应与专业服务:为半导体生产稳定护航
高频科技不仅是国内最早从事芯片领域超纯水系统业务的企业之一,更是国内首家具备12英寸14nm芯片产线超纯水制备能力的系统供应商。在提供先进超纯水与回用水技术的基础上,企业以可靠的交付能力与全周期服务体系,持续保障半导体客户生产线的稳定运行与效率提升,赢得了行业的广泛认可与信赖。
基于此,高频科技将持续聚焦半导体产业核心需求,深化超纯水制备与回用水循环技术的创新与应用,不断推动水质标准与资源效率迈向新高度,从而有效支持半导体企业在提升产品良率与优化运营成本方面实现持续突破,为产业的高质量发展筑牢基石。








